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单晶硅片(156X156mm)
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产品简介
至2010年底，硅片总产能将达到1200MW。预计到2011年底，硅片产能将增加600W达到1800MW.硅片主要规格为:单晶硅片125X125mm,单晶硅片156X156mm,多晶硅片156X156mm。
详细信息
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品名
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单晶娃片
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导电类型
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P型
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硅片正方尺寸（mm）
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156x156±0.5
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硅片对角线(mm）
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195±0.5；200±0.5
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硅片厚度（中心值）（μm）
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180±20；200±20
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总厚度变化（μm）
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≤30
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电阻率范围（Ωcm）
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0.8-3.0；3.0-6.0
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掺杂元素
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硼
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碳含量（原子/立方厘米）
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≤2.5×1017
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氧含量（原子/立方厘米）
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≤1x1018
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少数载流子寿命（μs)
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≥10
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表面质量
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无裂纹、缺口、缺角、穿孔、亮点
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翘曲度（warp/μm）
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≤50
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邻变垂直度
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90°±0.5 °
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崩边（mm）
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弦长＜1.0；深度＜0.5；每片不多于2个
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线痕（μm）
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≤15
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